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近日，国泰基金中证半导体材料设备主题ETF获批，有望于近期发行。此外，6月28日，易方达基金、富国基金、华夏基金、广发基金均上报了中证半导体材料设备主题ETF，目前证监会已接收相关材料。研究机构认为，光刻机、关键核心层的刻蚀、金属层的薄膜沉积、离子注入、检测设备等难度较大的设备目前国内替代率低，从工艺制程覆盖角度看，国内主流设备厂商在多个环节可覆盖28nm及以上的应用可实现对下游的批量供应。此外，从芯片自身景气周期来看，行业库存去化显著且终端需求逐渐回暖，全球智能手机出货量同比增速回升，同时AI为行业带来新的增长动能，下半年景气周期拐点或将显现。

据了解，中证半导体材料设备主题指数从沪深市场中，选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，成分股包括雅克科技 （002409） 、晶盛机电 （300316）等。

华宝证券指出，半导体材料和设备作为半导体产业链的上游，高端领域长期被欧美日韩企业垄断。在美国不断加码半导体管控措施的背景下，中国在半导体材料和设备领域自主可控，逐步实现国产替代意义重大，是值得重点关注的半导体细分领域。

海通证券此前曾指出，半导体设备材料国产替代确定性不断深化，作为晶圆制造核心，半导体设备及零部件板块投资机会显现，优质半导体设备零部件龙头企业包括北方华创、拓?？萍?、盛美上海、中微公司、长川科技、富创精密；同时，半导体材料作为制造后周期赛道，用量将伴随2021-2022年资本开支投放不断上升，建议关注标的包括鼎龙股份、安集科技、沪硅产业、德邦科技等；此外，晶圆制造端，国内代工厂也将在国家大基金扶持下不断拓展先进制程工艺，实现技术纵向拓展，建议关注中芯国际。

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