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赛微电子:公司拥有基于CMOS兼容的MEMS工艺

2023-10-10 23:25:54 来源:金融界


(资料图)

金融界10月10日消息,赛微电子在互动平台表示,公司有基于CMOS兼容的MEMS工艺,这是指在生产制造MEMS晶圆时,注重工艺的兼容性,可以响应客户兼容CMOS的工艺需求,实现不同器件的晶圆级堆叠制造。公司解释,MEMS工艺技术最早来源于CMOS工艺技术,是CMOS集成电路的一种扩展。CMOS多注重二维(x-y平面)工艺分辨率,而MEMS的Fab则更注重三维(x-y-z)工艺与集成。传统意义上,CMOS负责运算和存储,MEMS负责感知与执行。MEMS芯片同样涉及物理、化学,同时还涉及生物、光学等不同学科知识和技术的交叉运用,需要使用相对复杂与更加多样化的材料、结构与集成工艺。

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