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8月14日光刻机（胶）板块较上一交易日下跌0.37%，芯源微领跌。当日上证指数报收于3178.43，下跌0.34%。深证成指报收于10755.14，下跌0.5%。光刻机（胶）板块个股涨跌见下表：
从资金流向上来看，当日光刻机（胶）板块主力资金净流出2.97亿元，游资资金净流入4137.91万元，散户资金净流入2.55亿元。光刻机（胶）板块个股资金流向见下表：
北向资金方面，当日光刻机（胶）板块北向资金持股市值为59.07亿元，增持0.77亿元。其中增持最多的是张江高科，增持了0.24亿元。减持持最多的是晶方科技，减持了0.16亿元。光刻机（胶）板块北向资金持股变动明细见下表：