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天天快报!ASML 和 IMEC 宣布共同开发 high-NA EUV 光刻试验线
2023-07-01 05:11:39   来源:亚汇网  分享 分享到搜狐微博 分享到网易微博


【资料图】

今天签署的谅解备忘录旨在帮助使用半导体技术的产业了解先进半导体技术带来的机遇,并获得一个支持其创新的原型平台。imec、ASML和其他合作伙伴之间的合作将使探索新型半导体应用成为可能,为芯片制造商和最终用户开发可持续的、前沿的制造解决方案的可能性,以及与设备和材料生态系统合作开发先进的整体图案流动。亚汇网从官方新闻稿中看到,双方签署的谅解备忘录包括在比利时鲁汶的IMEC试验线安装和服务ASML的全部先进光刻和测量设备,包括最新的0.55NAEUV(TWINSCANEXE:5200)、0.33NAEUV(TWINSCANNXE:3800)、DUV浸没(TWINSCANNXT:2100i)、Yieldstar光学测量和HMI多光束等。这意味着该试点线将具有非常重要的价值,特别是在高级试点线上。官方表示,这项开创性的新高NA技术对于开发高性能、节能型芯片至关重要,例如下一代AI系统。它还能够用于解决我们社会面临的一些主要挑战的创新深度技术成为可能,例如医疗保健、营养、移动/汽车、气候变化和可持续能源等领域。为确保在2025年之后实现行业范围内的广泛访问高级NAEUV光刻技术,需要进行大量的投资,并保持与欧洲相关的先进节点过程研发能力。据介绍,这一谅解备忘录启动了ASML和IMEC在高级NAEUV上的下一阶段密集合作。第一阶段的工艺研究正在使用第一台高级NAEUV扫描仪(TWINSCANEXE:5000)在imec-ASML高级NA实验室中执行。IMEC和ASML将与所有领先的芯片制造商、材料和设备生态系统合作伙伴合作,目的是为最快可能地大规模制造做好技术准备。在下一阶段,这些活动将在比利时鲁汶市IMEC试点线的下一代高级NAEUV扫描仪(TWINSCANEXE:5200)上加速进行。“ASML正在向IMEC最先进的试点工厂做出实质性承诺,以支持欧洲的半导体研究和可持续创新。随着人工智能(AI)迅速扩展到自然语言处理、计算机视觉和自主系统等领域,任务的复杂性不断增加。因此,开发能够满足这些计算需求而不耗尽地球宝贵资源的芯片技术至关重要,”ASML总裁兼首席执行官PeterWennink说。广告声明:本文含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考。亚汇网所有文章均包含本声明。





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